「複合微細研磨Ｕ－ＲＡＭ」の開発に着手

報道関係者各位
プレスリリース

2010年6月15日
佐々木化学薬品株式会社

内面研磨という新技術「複合微細研磨　Ｕ－ＲＡＭ」
立命館大学田中武司教授と共同開発
～化学研磨と物理研磨の融合　わずかφ2.1×5mmの研磨の世界～

佐々木化学薬品株式会社は、化学研磨と物理研磨を融合した研磨技術「複合微細研磨技術U-RAM」の開発を立命館大学田中武司教授と共に進めております。技術開発も佳境を迎え、この度実用化に向け試作テストに乗り出します。

【開発の背景】
製品の微細化・複雑化が進む昨今、研磨技術に求められる精度は日々高まっています。
例えばモリブデンやニオブなどに代表される耐酸性材料の研磨には強酸性の研磨液が使用されています。しかし、強酸性の研磨液は人体や自然環境及び作業環境へ悪影響を及ぼすことも分かっており、問題視されています。また、これら強酸性の研磨液は強力なため、微細な部材に対する研磨制御が難しく、金属表面が粗くなってしまう点も大きな課題として挙げられています。

これらの問題を解決すべく創業60余年、薬品を使用した化学研磨を強みとしてきた弊社は過去の実績を活かし、今までになかった新しい研磨技術を生み出し、研磨の可能性を拡げられないかと2008年に「複合微細研磨技術U-RAM」の技術開発に着手いたしました。

【「複合微細研磨技術U-RAM」の特長】
• 強酸性の薬液を使わない研磨技術で環境負荷の低減に繋がる
• 従来の研磨技術では届かなかったナノレベルの研磨加工に対応できる
• 光触媒のリサイクル化で廃棄量の削減が可能となる

「複合微細研磨技術U-RAM」は、昨年「平成21年度　ものづくり中小企業製品開発等支援補助金」に採択されたことを期に、2010年1月には半導体パッケージング技術展に出展し、大きな反響を頂いております。

技術開発が本格始動したばかりの技術ですが、現状抱えられている問題解決にU-RAMはお応えできる可能性を秘めています。
是非一度弊社にご相談ください。

（研磨比較画像：CUP状部品外面研磨500倍SEM画像）
立命館大学田中武司教授ご提供写真

【佐々木化学薬品について】
「喜びの創造と技術の革新」を経営理念に掲げ、金属表面処理液の製造販売、一般試薬、工業薬品の販売などを行っています。お客様ひとりひとりのご要望にあった製品を作ることを常に心掛け、お客様と共に成長できる企業を目指しています。

社名	佐々木化学薬品株式会社
英文社名	SASAKI CHEMICAL CO.,LTD.
本社所在地	〒607-8225 京都府京都市山科区勧修寺西北出町10
創業	1946（昭和21）年10月1日
設立	1958（昭和33）年10月1日
資本金	6,000万円
従業員数	96人（2010年1月現在）
事業内容	試薬および化学工業薬品の開発・製造販売
URL	http://www.sasaki-c.co.jp/
【本件に関するお問い合わせ先】
担当	佐々木化学薬品株式会社 研究開発部 表面処理事業課
TEL	075-581-9141
E-mail	skc500@sasaki-c.co.jp