化学研磨液・エッチング液・電解研磨液
ITO膜エッチング液 エスクリーンIS
ITO膜のエッチングおよび再利用に エスクリーンIS
当製品は浸漬するだけでガラスやプラスチック基板上のITO膜を簡単にエッチングできる製品です。半導体および電子部品業界から国内外問わずお引き合いをいただいております。
＊フラットパネルディスプレイ製品イメージ図
ITO膜エッチング液
エスクリーンIS の特長
常温～60℃の間で使用可能であり、最短30秒で処理可能です。強酸性の製品ではありますが、安定したエッチング能力です。電子部品の生産工程はもちろんのこと、廃棄処分となっているITO膜ガラス板やITO膜プラスチック板の再利用としてもご活用いただけます。
処理時間
処理時間は膜厚や処理温度によって変動しますが、目安として下記表をご参照ください。下記表は1mm厚のガラス板上のITO膜を常温と加温（40℃）で処理した比較数値です。常温処理をした場合120秒、40℃に温度を上げて処理をした場合30秒でエッチング可能です。
| 常温 | 120秒 |
|---|---|
| 40℃ | 30秒 |
処理工程
当製品は「浸漬タイプ」の製品です。膜厚や使用条件を考慮し、一定時間浸漬することでITO膜をエッチングできます。製造ライン内で使用する場合はマスキングなどを施し、処理してください。部材の再利用として処理する場合は対象部材の表面の汚れを軽く落とし、エスクリーンISにそのまま浸漬してください。
| 処理部材面の汚れの除去 | → | エッチング（エスクリーンIS） | → | 乾燥 | → | 次工程 |
性質
当製品は塩酸系の製品です。その特長としましては製品性能の持ちがよく、比較的安定して長くご使用いただけます。
ITO（Indium Tin Oxide）膜について
ITO膜は酸化インジウム（In2O3）に数%の酸化スズ（SnO2）が添加された化合物です。「導電性」と「透明度」を合わせもつその特長が注目され、液晶パネルや有機ELなどのFPD（フラットパネルディスプレイ）向けの電極として現在多様されています。
エスクリーンIS （ITO膜エッチング液）
| 性状 | 酸性液体 |
|---|---|
| 該当法令・規制 | 医薬用外劇物 |
| 使用方法 |
【工程例】エッチング→水洗→乾燥 |
| 設備・機械 | 耐熱塩化ビニル製などの処理槽を使用 局所排気装置の設置 |
| 廃液処理 | 「特別管理産業廃棄物（廃酸）」に指定 廃液：都道府県知事の許可を受けた産業廃棄物処理業者に委託 水洗水：金属除去→pH調整→BOD・CODを考慮して放流 スラッジ：産業廃棄物として処理 |
| 注意事項 | ・使用時は、必ず保護眼鏡・保護手袋などの適切な保護具を着用 ・保管時は、必ず密栓をして直射日光を避け、換気のよい冷暗所に保管 |
詳しくはカタログ をご覧ください。
